纳米级三维探针台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗、稳定性高、无返程空回等特点。其运动控制部分采用驱控一体的压电专用控制器,使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。

本项目产品主要应用于电子、光伏、材料、医疗等行业的测试和微纳米操作。按测试样品分类可进行晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻测试、纳米器件测试等；按应用分类可进行射频测试、高温环境测试、低温真空测试、低电流（fA）测试、I-v/c-v/p-iv测试、高压大电流测试、特殊气体环境测试、强磁环境测试、纳米操作、细胞穿刺等。

纳米级三维探针台在 0.3μm～15000μm范围内连续可调，步长分辨率优于0.2μm，驱动方式：脉冲加方向，速度在1μm/s ～100mm/s范围内可调，最大加速度3g，最大行程：30mm，响应时间小于1ms。

    本项目已完成研发和中试，可以量产。产品已经在市场试销，反映良好。下一阶段将推出运动精度达到纳米级的加强版，使运动控制精度到达10nm以内。同时还将增加温控装置，使样品台可在摄氏-55度至125度之间调节。