成果简介：采用金属波纹管作为执行元件，金属波纹管安装在载物台上，将输入压力变为位移的线性输出；载物台安装在气浮导轨上，气浮导轨通过外部输入的压力气体在气浮导轨定子和动子之间形成一层气膜，从而形成了一个润滑层，使得气浮导轨动子可以无摩擦运行，从而使气动伺服执行器获得较高的运动精度和定位精度。

项目来源：自行开发

技术领域：先进制造技术

应用范围：采用气压驱动的高速精密定位系统

现状特点：国内先进

技术创新：1、金属波纹管安装在载物台的一端，气动伺服执行机构在运动过程中不会受电磁干扰等因素的影响；并且，金属波纹管输出位移和输入压力成线性的关系，容易控制。2、气浮导轨通过外部输入的压力气体在气浮导轨定子和动子之间形成一层润滑气膜，使气浮导轨动子可以无摩擦运行，从而使气动伺服执行器获得较高的运动精度和定位精度。

所在阶段：样机

成果知识产权：发明专利申请，“一种气动伺服机构”，申请号：2011101951439。

成果转让方式：合作开发，技术转让，技术许可

市场状况及效益分析：半导体制造装置由于对清洁度和无磁场的要求，气动运动伺服机构成为理想的执行器，在工件高速精确搬运中起到重要作用。带气浮导轨的波纹管式气动伺服执行器将成为这一领域不可缺的运动部件。