蛋白质单分子场效应晶体管是一种纳米尺度的单分子生物器件。该器件通过单个生物大分子的电导变化来反映其构象的动力学变化，从而实现其生物学活性的监测。蛋白质单分子场效应晶体管作为未来可能的分子信息传感的核心器件，将产生巨大的社会和经济效益。项目在原有蛋白质单分子场效应晶体管结构的基础上，探索蛋白质单分子场效应晶体管原型器件结构的微纳制备工艺，采用MEMS工艺的方法实现其器件的制备，有效提高产品的一致性，降低成本，有利于批量生产。

蛋白质单分子场效应晶体管通过单个生物大分子的电导变化来反映其构象的动力学变化，从而实现其生物学活性的监测。其将成为未来分子信息传感的核心器件，在高通量测序、临床诊断、生物传感器等方面获得广泛的应用。

我们采用成熟的MEMS剥离工艺加BOE刻蚀结合的方式进行其沟槽的制作工艺，完成了10纳米沟槽的加工，采用的微纳米技术，具有加工的一致性好，成品率高的优点，而且微纳加工技术本身就是批量加工技术，可以实现规模量产，有效降低工艺难度和加工成本。 

目前该项目已完成微纳米加工的设计与样品制备阶段，正在进行工艺改进以及市场拓展。项目处于预研阶段。