压电马达是利用压电材料的逆压电效应进行机电能量转换的电动机。压电马达由振动件和运动件两部分组成，没有绕组、磁体及绝缘结构；在小尺寸时功率密度比普通电动机高得多，但输出功率受限制，宜制成轻、薄、短小形式；有旋转和直线两种驱动模式。压电致动器以压电马达为元器件，在小尺度范围内实现了对物件的致动的精密器件。研发团队发展了锰掺杂改性钪酸铋-钛酸铅高温压电陶瓷材料，在此材料的基础上研发了高温微型压电马达、高温压电驱动器、用于驱动光学器件的压电单晶微马达和基于高温压电陶瓷材料的超声直线微马达样机。

毫米尺寸的压电马达可广泛应用于照相手机、超微型数码相机、电脑摄像头、微型监视器摄像机、医用内窥镜、机器和工业用内窥镜、精密光学仪器、微型机器、纳米分辨率微动台、显微操作仪、自动细胞分析仪等领域；高温压电驱动器、高温压电微马达在内燃机燃油电喷控制、高温油（气）阀、国防领域（如导弹姿态控制）等方面具有巨大的应用价值。

压电马达内部不存在磁场，机械振动频率在可听范围外，因此对外界的电磁干扰和噪声影响很小。目前项目组已经研发出了世界上最小的单晶马达，体积仅有1x1x3mm；开发出系列推力从0.2N至32N的系列压电马达产品和相应的压电驱动器，取代了进口Nanomotion的产品和毫米尺寸为1.5×1.5×5mm³、重量仅0.1g的压电单晶超声微马达，但可以产生20g的大驱动力，这比传统电磁原理音圈马达驱动力高出100倍以上；研发出了可在250⁰C高温下工作、具有微纳米分辨率的压电驱动器。最近课题组还开发出运动分辨率为亚微米的6轴压电微机电系统，可以广泛用于微型机器人精密操作系统、微电子组装、生物医学微细操作、超精密微细加工以及3D打印系统等领域。

项目组分别同国内最大的光学显微镜和电子显微镜生产商签订了合作协议，在整合控制系统之后有望成为其标配；同中科院深圳先进技术研究院合作开始用核磁设备（MRI）中使用的抗磁运动控制系统，实现强磁场下特定区域的精准探测和位置控制；与中科院长春光机所合作开发压电马达在航天系统中的应用。项目组正在进一完善压电马达产品线，最终覆盖直线、旋转、大推力、高精度、低温、高温等系列压电马达产品，
开发行程200μm以上，分辨率1nm的压电致动器，以及压电微机电系统与应用。