国家863计划项目《汽车胎压与防撞微传感器及其系统》制作出了应用于汽车胎压监测（TPMS）和倒车雷达（CRAS）的微型压力、温度和超声传感器及应用系统，研究得到了微型传感器的设计、制作、测试和封装的关键技术以及相关应用电路系统的理论和设计、制作、测试技术。创新性实现了无铅环保超声倒车雷达系统，实现了低功耗、高可靠的轮胎压力监测系统。课题顺利通过了科技部组织的项目验收。

课题采用MEMS 工艺技术，设计实现了SOI 结构的新型压力温度单片集成传感器和无铅环保型超声测距传感器，其结构与工艺具有创新性，综合性能指标达到先进水平。研究结果具有独立自主知识产权，满足实用化要求，可提供小批量生产的工艺和技术。

基于课题组研制的传感器，开发了两种汽车电子应用系统，期中：

1. 低功耗数字式胎压监控系统

本课题面向汽车电子主动安全的需求，研究开发了汽车胎压监控系统（TPMS），研究得到了核心传感器及胎压系统的设计、制作、测试和封装的关键技术，取得完全自主知识产权。该系统具有低成本、低功耗、高可靠，使用寿命长等特点，是一种实时测量，实时更新的数字式胎压监控系统。

主要性能参数：

测量范围：0 ~ 5Bar（乘用车）；0 ~ 10Bar（商用车）

压力精度：±0.5% FS

工作温度：-40 ~ 125℃

R F 频率： 433.92MHz

系统寿命：>4年

2. 无铅超声倒车雷达系统

本课题研究开发了新型无铅环保超声倒车雷达系统，研究得到了核心传感器及应用系统的设计、制作、测试和封装的关键技术，取得完全自主知识产权。该系统具有无铅环保、低成本、高可靠等特点。

主要性能参数：

铅含量：小于0.1%（欧盟标准）

工作电压：12 V

探测范围：0.2~1.7 米

环境温度：-40 ~ 60℃

完成人：任天令、刘理天、张兆华、杨轶等

联系人：张兆华

电话：62798632

电邮：imezzh@tsinghua.edu.cn