一、项目背景

近年来由于关键装备的引进吸收以及制备工艺的提升， 国内以钕铁硼为代表的高端稀土永磁材料在磁

性能方面已经可以与日本产品媲美， 但在磁体耐侯性上一直还存在较大差距。 国内稀土永磁材料表面防护技术与装备处于落后地位， 已成为制约我国从稀土永磁大国发展成为强国的瓶颈。 同时， 新能源技术与尖端技术的应用需求对稀土永磁材料表面防护技术提出了更高的要求。 因此， 开展表面防护技术与应用的研究能够拓展稀土永磁材料的应用领域，提升我国稀土永磁材料产业竞争力，具有重要意义。传统用于稀土永磁材料表面处理的技术电镀、化学镀、电泳等，已经无法满足目前的应用需求，同时面临着越来越大的环境压力。

针对用于新能源汽车、 风力发电机、 动力电机等高新技术产业对稀土永磁材料的需求， 宁波材料所表

面防护团队致力于开发稀土永磁材料的物理气相沉积防护技术。 物理气相沉积技术是一种清洁环保的防护技术， 所沉积的镀层与基体结合力优异。 目前沉积装备是限制物理气相沉积技术大规模应用的主要因素。宁波材料所表面防护团队通过多年努力， 开发出实验室、 中试及产业化物理气相沉积设备， 解决了磁体在真空中的三维翻转问题， 大幅提高了镀层的防护性能。 实现了从沉积技术到沉积装备的产业化应用。

二、技术简介

1、 设计出工业化生产的连续式磁控溅射设备， 实现了磁体在真空中的三维翻转；

2、膜材和基体材料选择广泛，可以沉积Al、 Ti、 Cr、 TiN、 Al2O3等多种材料；

3、镀层厚度5-15um连续可控， 同一批次产品镀层厚度均匀性优于电镀，无边角效应；

4、 镀层结合力明显优于电镀， 通过-50℃到+1 50℃温度交变冲击1 0次； 镀层与磁体拉伸结合力在

20MPa以上；

5、镀层通过150小时饱和PCT试验，优于同等镀层厚度的电镀水平；

6、镀层能通过72小时盐雾试验；

7、处理过程对磁体性能没有损伤，磁能积同比下降<1%，矫顽力没有下降；

8、不产生废液，对环境无污染。

三、市场简介

针对汽车发动机、风力发电、新型家电行业对钕铁硼磁体镀层高耐候性能要求， 开发用于钕铁硼磁体铝基镀层及物理气相沉积装备， 为钕铁硼提供清洁， 结合力和耐腐蚀性能优异的防护镀层。针对高科技领域对高温钐钴磁体的温度稳定性的需求，开发氧化物镀层及相关物理气相沉积装备，大幅提升钐钴磁体的温度稳定性

四、知识产权

1、 专利号： ZL20081012001 1 .8     一种实现工件外表面均匀镀膜的磁控溅射装置及方法

2、 专利号： ZL20081 01 2001 3.7     一种用于表面防护的离子束辅助磁控溅射沉积方法

3、 专利号： ZL2008 1 01 2 1 903.X    一种用于钕铁硼工件表面防护的磁控溅射沉积铝膜的方法

4、专利号： ZL200910100368.4     一种烧结钕铁硼永磁材料化学抛光液及处理方法

五、合作方式

合作开发、技术转让、专利（实施）许可等。