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钇铝石榴石(YAG)和氧化钇(Y2O3)透明陶瓷
一、基本信息
标题 钇铝石榴石(YAG)和氧化钇(Y2O3)透明陶瓷 单位 中国科学院上海硅酸盐研究所
电话 5179011 行业类别 其他
二、内容信息

钇铝石榴石(YAG)、氧化钇(Y2O3)透明陶瓷是重要的激光基质和闪烁基质材料,同时,它在可见-中红外波段透过率高,是中红外光学窗口、半球形整流罩的重要候选材料。此外,它们还具有极佳的抗等离子体侵蚀性能,在半导体刻蚀装备中具有重要的应用价值。中科院上海硅酸盐研究所王士维研究员带领的研究团队在大尺寸和复杂形状的YAG和Y2O3透明陶瓷的研究上取得重要进展。在YAG透明陶瓷方面,成功研究制备出直径达235mm、厚度约8mm的YAG透明陶瓷板,在400nm和1100nm处的直线透过率分别达80%和83%,光学质量优异。此外,还制备出高光学质量、直径达210mm的YAG透明陶瓷球罩样品。在Y2O3透明陶瓷的研究中,成功研制出多种规格的高光学质量的Y2O3透明陶瓷样品,尤其制备的氧化钇透明陶瓷球罩尺寸可达Φ108mm。目前,部分研究成果已开始转向中试。

 


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